兆声超音波清洗是一种与超音波清洗有关的声学清洗。 这是一种较温和的清洁机制，几乎不会对被清洗物造成损坏，并且用于晶圆，医疗植入物和精密工业零件清洁。

     与低频超音清洗类似，兆声波清洗机利用通常位于压电基板顶部的换能器。 与超声清洗（20-200 kHz）相比，换能器以更高的频率（通常为0.8-2 MHz）产生声场。 结果，发生的气穴现象变得温和并且规模小得多。 兆声波清洗机当前主要用于电子工业中以制备硅晶片。